失效分析
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- 電性檢測
- · 半導(dǎo)體組件參數(shù)分析 · 電特性測試 · 點(diǎn)針信號量測 · 靜電放電/過度電性應(yīng)力/閂鎖試驗(yàn)
- 失效點(diǎn)定位
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半導(dǎo)體組件參數(shù)分析
描述: 利用SMU(Source measurement unit)供應(yīng)電壓或電流,驗(yàn)證與量測半導(dǎo)體組件特性(Diode I-V Curve、MOSFET特性曲線等)。如電容-電壓特性曲線、電壓-電流(IV)、電阻、電容、電感值量測或信號波形等,藉此了解組件的故障行為,以利后續(xù)的分析動作。
檢測設(shè)備能力:
Keysight B1500A:最多4 Channels、最高電壓200 V、最大限流1A,功率為20W。
1、可在0.1 fA-1 A /0.5 μV - 200 V范圍內(nèi)進(jìn)行精確的電流-電壓(IV)測量,支持點(diǎn)測量、掃描測量、采樣和脈沖測量;
2、在1 kHz至5 MHz頻率范圍內(nèi)進(jìn)行交流電容測量,支持準(zhǔn)靜態(tài)電容-電壓(QS-CV)測量;
3、可選擇不同模式(先進(jìn)的脈沖IV測量和超快IV測量),最低采樣間隔為5 ns(200 MSa/s);
4、電性失效分析量測(EFA,Electrical Failure Analysis);
測試范圍:
CMOS 晶體管 Id-Vg、Id-Vd、Vth、擊穿、電容和 QSCV
雙極晶體管 Ic-Vc、二極管、Gummel 曲線圖、擊穿和電容等
分立器件 Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc、二極管等
內(nèi)存 Vth、電容、耐久性測試
功率器件 脈沖 Id-Vg、脈沖 Id-Vd、擊穿
納米器件 電阻、Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc
可靠性測試 NBTI/PBTI、電荷泵、電遷移、熱載流子注入、斜坡電流(J-Ramp)、TDDB 等
檢測曲線圖片:
檢測設(shè)備:
檢測優(yōu)勢:
1、 電容-電壓(C-V)、電壓-電流(I-V)、電阻(R)、電容(C)、電感(L)和訊號波形(Waveform)等。為失效分析提供保障,以利后續(xù)的分析動作。
2、 Keysight EasyEXPERT group+ 軟件是B1500A 自帶的 GUI 界面軟件,可在B1500A 的嵌入式 Windows 10 平臺上運(yùn)行,支持高效和可重復(fù)的器件表征。B1500A 擁有幾百種即時(shí)可用的測量(應(yīng)用測試),為測試執(zhí)行和分析提供了直觀和功能強(qiáng)大的操作環(huán)境。它可以幫助工程師對器件、材料、半導(dǎo)體、有源 / 無源元器件或幾乎任何其他類型的電子器件進(jìn)行精確和快速的電子表征和測試。
3、 測試范圍廣、定位精確、測試數(shù)據(jù)圖片更直觀、測試效率更高。